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大气压聚合SiOx薄膜用于印刷板材研究(中)

2007/8/10 15:04:24 人评论

2 实验结果及分析2.1 等离子体炬长度与功率的关系    2种进气方式均在电压60V,电流为0.4A,功率为24W 条件下开始起弧放电。在气体流量为15L/min时放电功率和弧长的关系曲线见图3    图3表明2种进单体方式等离子体炬长度都随放电功率增加而增大,且增大幅度相近,没有显著差别。在起始阶段,弧长随放电功率的增大迅速增大,但当放电功率增大到40W时,继续增大放电功率等离子体炬长度增长趋缓。2.2 等离子体炬长度与进气量的关系    在功率为55W 时,以进气量为变量,观察等离子体炬长度的变化情况,见图4。    对单体直接输入到等离子体反应区方式,等离子体炬随进气量的增大而增长,且存在~个最高点,后随进气量的增大弧长减d\。对单体输入到等离子体下游区的进气方式,在气流量较小时,等离子体炬长度就达到最大值,发生丝状放电,随流量增大,弧长反而变短,但等离子体炬变粗。这说明放电由带有丝状的电弧放电转变为均匀的弧光放电。     等离子体区下游进样放电,等离子体炬直接达到最大,这可能是由于气体分流,由空心内电极流出的气体稀释了放电区流出的离子,从而在低流量下起辉较晚.2.3 电极的电压与电流关系曲线     2种进样方式放电的电流电压曲线见图5.放电曲线近似成典型的介质放电具有的线性关系,由于介质的存在,避免了单体在被解离后不会因为电场的存在而吸附在电极上,从而不能到达基材表面.(待续)

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